[한경잡앤조이=이진호 기자] 에이에스케이는 반도체 및 디스플레이 제조 증착공정 장비(CVD·ALD)용 부품(기화기)을 개발하는 스타트업이다. 김태희 대표(51)가 2021년 8월에 설립했다.
김 대표는 “에이에스케이는 반도체, 디스플레이, 솔라셀 등의 제조공정장비, 특히 CVD(Chemical Vapor Deposition), ALD(Atomic Layer Deposition)와 같은 증착장비에 적용되는 액상전구체(Liquid Precursor)의 기화기(Vaporizer) 국산화를 통해 소재·부품·장비의 국산화, 자립화를 실현하고 세계화를 추진하는 기업”이라고 소개했다.
김 대표는 대학에서 화학공학을 전공하고 대학원에서 반도체 증착공정을 연구하고 석사로 졸업한 후 20년 이상 반도체 (전공정)장비, 부품 분야에서 근무해 왔다. 삼성반도체, SK하이닉스의 양산라인에서 근무하면서 반도체 제품과 직간접적으로 연관되는 다양한 공정과 제품에 대한 풍부한 현장경험을 갖추고 있다. 김 대표는 반도체 소부장 분야의 실무경험을 토대로 현재는 반도체화학공학 박사과정을 병행하며 공정시뮬레이션 분야의 연구도 수행하고 있다.
에이에스케이가 주력해서 만드는 것은 기화기다. 에이에스케이는 반도체 (박막증착) 제조공정설비에 사용되는 기화기를 제조한다.
“반도체 제조공정 중에서 증착공정은 필수적이고 핵심 공정 중 하나입니다. 증착 공정도 수십여 종류의 세부 공정으로 이뤄지는데 박막을 형성하기 위한 원료물질이 액체상태인 것을 액상전구체(Liquid Precursor)라고 합다. CVD, ALD와 같은 대표적인 증착기법으로 박막을 형성하기 위해서는 이러한 원료물질인 액상전구체가 반응챔버로 유입되는 바로 직전 단계에서 반드시 기체화 되어야 하는데 이를 위해서 액체에서 기체로의 상변화(Phase Transition)를 시켜주는 장치가 바로 기화기입니다.”
한 가지 반도체소자를 만들기 위해서는 수십 가지의 박막이 형성되어야 하고 이러한 박막형성의 주원료가 되는 액상전구체는 수십, 수 백 가지에 달하고 계속해서 신규소재가 개발되고 있다. 기화기는 다양한 액상전구체의 물리화학적 특성, 제조공정에서의 사용 유량 등의 공정특성을 고려해야 해서 매우 고난이도의 기술력을 요구하는 제품이다.
에이에스케이가 개발하고 있는 제품은 직분사(DLI, Direct Liquid Injection)방식의 기화기로 기존의 Boiling 방식의 기화기 대비 고유량 및 정밀제어가 가능하다. 신규로 적용되는 액상 소스에 이르기까지 모든 종류의 액상소스를 기화할 수 있는 제품이다.
“고객사에서 공정 조건을 최적화하기 위해서 기화기 내에서의 유체의 속도, 압력, 온도 등 유체의 거동이 어떻게 이뤄지는지를 알고 싶어 합니다. 전북대학교 반도체화학공학부 임연호 교수팀과 공동연구를 통해서 기화기 내에서 유체가 어떤 거동을 나타내는지에 대한 시뮬레이션 플랫폼을 개발하였습니다. 이를 활용하여 고객사에 기화기 거동 관련 시뮬레이션 데이터 제공 능력이 큰 경쟁력이자 차별화 전략입니다. 외국계 회사들에 비해서 단가경쟁력을 포함하여 빠른 납기 및 서비스 대응이 가능하다는 장점 또한 가지고 있습니다.”
국내 반도체 산업 생태계를 살펴보면 반도체 칩메이커와 장비, 소재 업체 등이 유기적으로 연결되어 있다. 특히 칩메이이커 그리고 반도체 장비와 부품업계의 관계를 들여다보면 삼성전자나 하이닉스 등 칩메이커 분야에서는 세계 최정상 기업을 보유하고 있지만, 반도체를 제조하기 위한 제조장비 기업은 미국, 일본의 글로벌 업체에 대한 시장의존도가 높다.
“일부 공정장비의 경우 정부와 기업의 노력으로 기술력이 많이 향상됐고 국산장비의 기술력도 글로벌기업과의 격차를 좁히고 있습니다. 그러나, 국산화장비를 구성하고 있는 핵심적인 공정 부품의 경우는 부품국산화가 이뤄지지 않은 곳이 많습니다. 기화기 제품도 부품국산화가 이뤄지지 않은 대표적인 품목입니다. 이러한 부분이 회사설립의 계기입니다. 부품국산화를 통해 삼성반도체, SK하이닉스와 같은 양산라인에 우리 기화기 제품이 사용돼 부품국산화에 일조하는 것이 기업의 목표입니다.”
에이에스케이는 그동안은 기술개발에 집중했고 공인시험기관으로부터 시험성적서를 발급받았다. 현재 특허를 출원하는 등의 기술력을 입증했다. 김 대표는 “올해로 창업 3년 차에 들어섰는데 국내 양산 장비공급 협력사들과 함께 시제품 양산 성능평가를 진행하고 이 결과를 레퍼런스로 해 공격적으로 판로개척을 진행할 예정”이라며 “수출을 위해서 해외 칩메이커과들의 네트워크를 가지고 있는 전략적 파트너사와 해외영업분야 대리점계약을 체결하고 업무공유를 진행하고 있다”고 말했다.
에이에스케이는 팁스운영사인 전북지역대학연합기술지주회사, 엔슬파트너스 등과 시드투자라운드 진행중이며, 후속투자를 위해서 메이저 벤처캐피탈사인 대교인베스트먼트와 협의 중이다.
에이에스케이는 2023년 전북대학교 창업중심대학 초기 창업기업 지원사업에 뽑혔다. 창업중심대학 초기 창업기업 지원사업은 공고기준 당시 3년 미만의 창업기업을 대상으로 하는 창업지원 사업으로 최대 1억원의 사업화 자금을 지원한다. 주관기관으로부터 창업 공간, 창업기업 성장에 필요한 교육, 멘토링 등의 지원을 받는다.
법인설립일 : 2021년 8월
주요사업 : 반도체 및 디스플레이 제조 증착공정 장비(CVD·ALD)용 부품(기화기) 개발 및 제조
성과 : 특허출원 4건, 벤처기업 인증, 전문연구개발사업자 인증, 정부 및 지자체 R&D지원사업 수행 2건, 창업사업화 지원사업 수행 3건
jinho2323@hankyung.com
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